వార్తలు

డైమండ్ వైర్ కటింగ్ టెక్నాలజీని కన్సాలిడేషన్ అబ్రేసివ్ కటింగ్ టెక్నాలజీ అని కూడా అంటారు. ఇందులో, ఎలక్ట్రోప్లేటింగ్ లేదా రెసిన్ బాండింగ్ పద్ధతిని ఉపయోగించి, స్టీల్ వైర్ ఉపరితలంపై డైమండ్ అబ్రేసివ్‌ను ఏకీకృతం చేసి, ఆ డైమండ్ వైర్‌ను నేరుగా సిలికాన్ రాడ్ లేదా సిలికాన్ ఇంగాట్ ఉపరితలంపై రాపిడికి గురిచేసి, తద్వారా కటింగ్ ప్రభావాన్ని సాధిస్తారు. డైమండ్ వైర్ కటింగ్ వేగవంతమైన కటింగ్ వేగం, అధిక కటింగ్ కచ్చితత్వం మరియు తక్కువ మెటీరియల్ నష్టం వంటి లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది.

ప్రస్తుతం, డైమండ్ వైర్ కటింగ్ సిలికాన్ వేఫర్ కోసం సింగిల్ క్రిస్టల్ మార్కెట్ పూర్తిగా ఆమోదం పొందింది, కానీ ప్రచార ప్రక్రియలో ఇది కొన్ని సమస్యలను కూడా ఎదుర్కొంది, వాటిలో వెల్వెట్ వైట్ అనేది అత్యంత సాధారణ సమస్య. ఈ దృష్ట్యా, డైమండ్ వైర్ కటింగ్ మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ వేఫర్ వెల్వెట్ వైట్ సమస్యను ఎలా నివారించాలనే దానిపై ఈ పత్రం దృష్టి సారిస్తుంది.

డైమండ్ వైర్ కటింగ్ మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ వేఫర్‌ను శుభ్రపరిచే ప్రక్రియలో, వైర్ సా మెషిన్ టూల్ ద్వారా కత్తిరించిన సిలికాన్ వేఫర్‌ను రెసిన్ ప్లేట్ నుండి తీసివేసి, రబ్బరు స్ట్రిప్‌ను తొలగించి, సిలికాన్ వేఫర్‌ను శుభ్రం చేస్తారు. ఈ శుభ్రపరిచే పరికరాలలో ప్రధానంగా ఒక ప్రీ-క్లీనింగ్ మెషిన్ (డీగమ్మింగ్ మెషిన్) మరియు ఒక క్లీనింగ్ మెషిన్ ఉంటాయి. ప్రీ-క్లీనింగ్ మెషిన్ యొక్క ప్రధాన శుభ్రపరిచే ప్రక్రియ: ఫీడింగ్-స్ప్రే-స్ప్రే-అల్ట్రాసోనిక్ క్లీనింగ్-డీగమ్మింగ్-శుభ్రమైన నీటితో కడగడం-అండర్‌ఫీడింగ్. క్లీనింగ్ మెషిన్ యొక్క ప్రధాన శుభ్రపరిచే ప్రక్రియ: ఫీడింగ్-శుభ్రమైన నీటితో కడగడం-శుభ్రమైన నీటితో కడగడం-క్షారంతో కడగడం-క్షారంతో కడగడం-శుభ్రమైన నీటితో కడగడం-ప్రీ-డీహైడ్రేషన్ (నెమ్మదిగా పైకి లేపడం)-ఆరబెట్టడం-ఫీడింగ్.

సింగిల్-క్రిస్టల్ వెల్వెట్ తయారీ సూత్రం

మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క అనిసోట్రోపిక్ తుప్పు లక్షణం. చర్య సూత్రం ఈ క్రింది రసాయన చర్య సమీకరణం:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

సారాంశంలో, స్వెడ్ ఏర్పడే ప్రక్రియ ఇలా ఉంటుంది: NaOH ద్రావణం వివిధ స్ఫటిక ఉపరితలాల యొక్క విభిన్న క్షయకరణ రేటు కారణంగా (100) ఉపరితల క్షయకరణ వేగం (111) కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది, కాబట్టి (100) ఏకస్ఫటిక సిలికాన్ వేఫర్‌పై అసమరూప క్షయకరణం తర్వాత, చివరికి ఉపరితలంపై (111) నాలుగు వైపుల శంకువు ఏర్పడుతుంది, దీనిని "పిరమిడ్" నిర్మాణం అంటారు (పటం 1లో చూపిన విధంగా). నిర్మాణం ఏర్పడిన తర్వాత, కాంతి ఒక నిర్దిష్ట కోణంలో పిరమిడ్ వాలుపై పడినప్పుడు, కాంతి మరొక కోణంలో వాలు వైపు పరావర్తనం చెందుతుంది, ఇది ద్వితీయ లేదా అంతకంటే ఎక్కువ శోషణను ఏర్పరుస్తుంది, తద్వారా సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలంపై పరావర్తనశీలతను తగ్గిస్తుంది, దీనినే కాంతి ఉచ్చు ప్రభావం అంటారు (పటం 2 చూడండి). "పిరమిడ్" నిర్మాణం యొక్క పరిమాణం మరియు ఏకరూపత ఎంత మెరుగ్గా ఉంటే, ఉచ్చు ప్రభావం అంత స్పష్టంగా ఉంటుంది మరియు సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క ఉపరితల ఉద్గారం అంత తక్కువగా ఉంటుంది.

పటం 1: క్షార ఉత్పత్తి తర్వాత ఏకస్ఫటిక సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క సూక్ష్మ స్వరూపం

పటం 2: "పిరమిడ్" నిర్మాణం యొక్క కాంతి ఉచ్చు సూత్రం

సింగిల్ క్రిస్టల్ వైటెనింగ్ విశ్లేషణ

తెల్లటి సిలికాన్ వేఫర్‌పై స్కానింగ్ ఎలక్ట్రాన్ మైక్రోస్కోప్‌తో పరిశీలించినప్పుడు, ఆ ప్రాంతంలోని తెల్లటి వేఫర్ యొక్క పిరమిడ్ సూక్ష్మ నిర్మాణం ప్రాథమికంగా ఏర్పడలేదని, మరియు ఉపరితలంపై "మైనపు" అవశేషం యొక్క పొర ఉన్నట్లు కనిపించిందని కనుగొనబడింది. అయితే, అదే సిలికాన్ వేఫర్‌లోని తెల్లటి ప్రాంతంలో ఉన్న స్యూడ్ యొక్క పిరమిడ్ నిర్మాణం మరింత మెరుగ్గా ఏర్పడింది (పటం 3 చూడండి). ఏకస్ఫటిక సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలంపై అవశేషాలు ఉంటే, ఉపరితలంపై అవశేష ప్రాంత "పిరమిడ్" నిర్మాణం యొక్క పరిమాణం మరియు ఏకరూపత ఏర్పడతాయి, మరియు సాధారణ ప్రాంతంపై దాని ప్రభావం సరిపోదు. ఫలితంగా, సాధారణ ప్రాంతం కంటే అవశేష స్యూడ్ ఉపరితలం యొక్క పరావర్తనం ఎక్కువగా ఉంటుంది. సాధారణ ప్రాంతంతో పోలిస్తే అధిక పరావర్తనం ఉన్న ప్రాంతం దృశ్యమానంగా తెల్లగా ప్రతిబింబిస్తుంది. తెల్లటి ప్రాంతం యొక్క విస్తరణ ఆకారాన్ని బట్టి చూస్తే, అది పెద్ద ప్రాంతంలో క్రమబద్ధంగా లేదా ఒకే ఆకారంలో లేదు, కేవలం స్థానిక ప్రాంతాలలో మాత్రమే ఉంది. బహుశా సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలంపై ఉన్న స్థానిక కాలుష్య కారకాలను శుభ్రపరచకపోవడం వల్ల కావచ్చు, లేదా సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క ఉపరితల పరిస్థితి ద్వితీయ కాలుష్యం వల్ల ఏర్పడి ఉండవచ్చు.

పటం 3: వెల్వెట్ వైట్ సిలికాన్ వేఫర్లలో ప్రాంతీయ సూక్ష్మ నిర్మాణ వ్యత్యాసాల పోలిక

వజ్రపు తీగతో కత్తిరించిన సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలం మరింత నునుపుగా ఉంటుంది మరియు నష్టం తక్కువగా ఉంటుంది (పటం 4లో చూపిన విధంగా). మోర్టార్‌తో కత్తిరించిన మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ వేఫర్‌తో పోలిస్తే, క్షారం మరియు వజ్రపు తీగతో కత్తిరించిన సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలంపై చర్య వేగం నెమ్మదిగా ఉంటుంది, కాబట్టి వెల్వెట్ ప్రభావంపై ఉపరితల అవశేషాల ప్రభావం మరింత స్పష్టంగా ఉంటుంది.

పటం 4: (A) మోర్టార్ కట్ సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క ఉపరితల మైక్రోగ్రాఫ్ (B) డైమండ్ వైర్ కట్ సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క ఉపరితల మైక్రోగ్రాఫ్

వజ్రపు తీగతో కత్తిరించిన సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలం యొక్క ప్రధాన అవశేష మూలం

(1) కూలెంట్: డైమండ్ వైర్ కటింగ్ కూలెంట్ యొక్క ప్రధాన భాగాలు సర్ఫ్యాక్టెంట్, డిస్పర్సెంట్, డిఫోమింగ్ ఏజెంట్ మరియు నీరు మరియు ఇతర భాగాలు. అద్భుతమైన పనితీరు గల కటింగ్ ద్రవానికి మంచి సస్పెన్షన్, వ్యాప్తి మరియు సులభంగా శుభ్రపరిచే సామర్థ్యం ఉంటుంది. సర్ఫ్యాక్టెంట్లు సాధారణంగా మెరుగైన హైడ్రోఫిలిక్ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి సిలికాన్ వేఫర్ శుభ్రపరిచే ప్రక్రియలో సులభంగా తొలగిపోతాయి. నీటిలో ఈ సంకలితాలను నిరంతరం కదిలించడం మరియు ప్రసరింపజేయడం వలన అధిక మొత్తంలో నురుగు ఉత్పత్తి అవుతుంది, దీని ఫలితంగా కూలెంట్ ప్రవాహం తగ్గి, శీతలీకరణ పనితీరు ప్రభావితమవుతుంది, మరియు తీవ్రమైన నురుగు మరియు నురుగు పొంగిపొర్లే సమస్యలు కూడా తలెత్తుతాయి, ఇవి దాని వినియోగాన్ని తీవ్రంగా ప్రభావితం చేస్తాయి. అందువల్ల, కూలెంట్‌ను సాధారణంగా డిఫోమింగ్ ఏజెంట్‌తో కలిపి ఉపయోగిస్తారు. డిఫోమింగ్ పనితీరును నిర్ధారించడానికి, సాంప్రదాయ సిలికాన్ మరియు పాలిథర్‌లకు సాధారణంగా హైడ్రోఫిలిక్ లక్షణాలు తక్కువగా ఉంటాయి. నీటిలోని ద్రావకం చాలా సులభంగా శోషించబడి, తదుపరి శుభ్రపరిచే ప్రక్రియలో సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలంపై నిలిచిపోతుంది, దీని ఫలితంగా తెల్లటి మచ్చల సమస్య ఏర్పడుతుంది. మరియు ఇది కూలెంట్ యొక్క ప్రధాన భాగాలతో సరిగ్గా అనుకూలంగా ఉండదు, అందువల్ల, దీనిని రెండు భాగాలుగా తయారు చేయాలి, ప్రధాన భాగాలు మరియు నురుగు నివారణ ఏజెంట్లను నీటిలో కలుపుతారు, ఉపయోగించే ప్రక్రియలో, నురుగు పరిస్థితిని బట్టి, నురుగు నివారణ ఏజెంట్ల వాడకాన్ని మరియు మోతాదును పరిమాణాత్మకంగా నియంత్రించలేము, నురుగు నివారణ ఏజెంట్ల అధిక మోతాదుకు సులభంగా దారితీయవచ్చు, ఇది సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలంపై అవశేషాలు పెరగడానికి దారితీస్తుంది, ఇది పనిచేయడానికి కూడా మరింత అసౌకర్యంగా ఉంటుంది, అయితే, ముడి పదార్థాలు మరియు నురుగు నివారణ ఏజెంట్ ముడి పదార్థాల తక్కువ ధర కారణంగా, అందువల్ల, చాలా దేశీయ కూలెంట్లు అన్నీ ఈ ఫార్ములా వ్యవస్థనే ఉపయోగిస్తాయి; ఇతర కూలెంట్లు కొత్త నురుగు నివారణ ఏజెంట్‌ను ఉపయోగిస్తాయి, ఇది ప్రధాన భాగాలతో బాగా అనుకూలంగా ఉంటుంది, అదనపు పదార్థాలు అవసరం లేదు, దాని పరిమాణాన్ని సమర్థవంతంగా మరియు పరిమాణాత్మకంగా నియంత్రించవచ్చు, అధిక వాడకాన్ని సమర్థవంతంగా నిరోధించవచ్చు, దీనిని ఉపయోగించడం కూడా చాలా సౌకర్యవంతంగా ఉంటుంది, సరైన శుభ్రపరిచే ప్రక్రియతో, దాని అవశేషాలను చాలా తక్కువ స్థాయికి నియంత్రించవచ్చు, జపాన్‌లో మరియు కొన్ని దేశీయ తయారీదారులు ఈ ఫార్ములా వ్యవస్థను అవలంబిస్తున్నారు, అయితే, దాని అధిక ముడి పదార్థాల ఖర్చు కారణంగా, దాని ధర ప్రయోజనం స్పష్టంగా లేదు.

(2) జిగురు మరియు రెసిన్ వెర్షన్: డైమండ్ వైర్ కటింగ్ ప్రక్రియ యొక్క తరువాతి దశలో, లోపలికి వచ్చే చివర దగ్గర ఉన్న సిలికాన్ వేఫర్ ముందుగానే కత్తిరించబడి ఉంటుంది, బయటకు వెళ్లే చివర ఉన్న సిలికాన్ వేఫర్ ఇంకా కత్తిరించబడదు, ముందుగా కత్తిరించిన డైమండ్ వైర్ రబ్బరు పొర మరియు రెసిన్ ప్లేట్‌ను కత్తిరించడం ప్రారంభిస్తుంది, సిలికాన్ రాడ్ జిగురు మరియు రెసిన్ బోర్డ్ రెండూ ఎపాక్సీ రెసిన్ ఉత్పత్తులు కాబట్టి, వాటి మెత్తబడే ఉష్ణోగ్రత ప్రాథమికంగా 55 మరియు 95℃ మధ్య ఉంటుంది, రబ్బరు పొర లేదా రెసిన్ ప్లేట్ యొక్క మెత్తబడే ఉష్ణోగ్రత తక్కువగా ఉంటే, అది కటింగ్ ప్రక్రియలో సులభంగా వేడెక్కి మెత్తబడి కరిగిపోతుంది, స్టీల్ వైర్ మరియు సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలానికి అంటుకుంటుంది, దీనివల్ల డైమండ్ లైన్ యొక్క కటింగ్ సామర్థ్యం తగ్గుతుంది, లేదా సిలికాన్ వేఫర్‌లు రెసిన్‌తో మరకలు పడతాయి, ఒకసారి అంటుకుంటే, దానిని కడగడం చాలా కష్టం, ఇటువంటి కాలుష్యం ఎక్కువగా సిలికాన్ వేఫర్ అంచు దగ్గర సంభవిస్తుంది.

(3) సిలికాన్ పొడి: డైమండ్ వైర్ కటింగ్ ప్రక్రియలో చాలా సిలికాన్ పొడి ఉత్పత్తి అవుతుంది, కటింగ్ తో పాటు మోర్టార్ కూలెంట్ లో పొడి శాతం అంతకంతకూ పెరుగుతుంది, పొడి తగినంత పెద్దగా ఉన్నప్పుడు, అది సిలికాన్ ఉపరితలానికి అంటుకుంటుంది, మరియు డైమండ్ వైర్ కటింగ్ వల్ల సిలికాన్ పొడి పరిమాణం మరియు ఆకారం సిలికాన్ ఉపరితలంపై సులభంగా శోషించబడటానికి దారితీస్తుంది, దీనివల్ల దానిని శుభ్రపరచడం కష్టమవుతుంది. అందువల్ల, కూలెంట్ యొక్క తాజాదనం మరియు నాణ్యతను నిర్ధారించుకోవాలి మరియు కూలెంట్ లో పొడి శాతాన్ని తగ్గించాలి.

(4) క్లీనింగ్ ఏజెంట్: ప్రస్తుతం డైమండ్ వైర్ కటింగ్ తయారీదారులు ఎక్కువగా మోర్టార్ కటింగ్‌తో పాటు అదే సమయంలో ఉపయోగిస్తున్నారు, ఎక్కువగా మోర్టార్ కటింగ్ ప్రీవాషింగ్, క్లీనింగ్ ప్రాసెస్ మరియు క్లీనింగ్ ఏజెంట్ మొదలైనవాటిని ఉపయోగిస్తారు, సింగిల్ డైమండ్ వైర్ కటింగ్ టెక్నాలజీలో కటింగ్ మెకానిజం నుండి ఒక పూర్తి సెట్ లైన్ ఏర్పడుతుంది, కూలెంట్ మరియు మోర్టార్ కటింగ్‌కు పెద్ద తేడా ఉంది, కాబట్టి సంబంధిత క్లీనింగ్ ప్రాసెస్, క్లీనింగ్ ఏజెంట్ మోతాదు, ఫార్ములా మొదలైనవాటిని డైమండ్ వైర్ కటింగ్‌కు అనుగుణంగా సర్దుబాటు చేయాలి. క్లీనింగ్ ఏజెంట్ ఒక ముఖ్యమైన అంశం, అసలు క్లీనింగ్ ఏజెంట్ ఫార్ములాలో ఉండే సర్ఫ్యాక్టెంట్, ఆల్కలీనిటీ డైమండ్ వైర్ కటింగ్ సిలికాన్ వేఫర్‌ను శుభ్రపరచడానికి తగినవి కావు, డైమండ్ వైర్ సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలం, దాని కూర్పు మరియు ఉపరితల అవశేషాలను లక్ష్యంగా చేసుకున్న క్లీనింగ్ ఏజెంట్‌ను క్లీనింగ్ ప్రాసెస్‌తో పాటు తీసుకోవాలి. పైన చెప్పినట్లుగా, మోర్టార్ కటింగ్‌లో డీఫోమింగ్ ఏజెంట్ కూర్పు అవసరం లేదు.

(5) నీరు: డైమండ్ వైర్ కటింగ్, ప్రీ-వాషింగ్ మరియు క్లీనింగ్ ఓవర్‌ఫ్లో నీటిలో మలినాలు ఉంటాయి, అవి సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలంపై శోషించబడవచ్చు.

వెల్వెట్ జుట్టు తెల్లగా కనిపించే సమస్యను తగ్గించడానికి సూచనలు

(1) మంచి వ్యాప్తి కలిగిన కూలెంట్‌ను ఉపయోగించాలి, మరియు సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలంపై కూలెంట్ భాగాల అవశేషాలను తగ్గించడానికి తక్కువ-అవశేష డిఫోమింగ్ ఏజెంట్‌ను కూలెంట్‌కు ఉపయోగించడం అవసరం;

(2) సిలికాన్ వేఫర్ కాలుష్యాన్ని తగ్గించడానికి తగిన జిగురు మరియు రెసిన్ ప్లేట్‌ను ఉపయోగించండి;

(3) ఉపయోగించిన నీటిలో సులభంగా అవశేష మలినాలు లేకుండా చూసుకోవడానికి కూలెంట్‌ను స్వచ్ఛమైన నీటితో కలుపుతారు;

(4) డైమండ్ వైర్ కట్ సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలం కోసం, కార్యాచరణ మరియు శుభ్రపరిచే ప్రభావం మరింత అనువైన క్లీనింగ్ ఏజెంట్‌ను ఉపయోగించండి;

(5) కటింగ్ ప్రక్రియలో సిలికాన్ పౌడర్ పరిమాణాన్ని తగ్గించడానికి డైమండ్ లైన్ కూలెంట్ ఆన్‌లైన్ రికవరీ సిస్టమ్‌ను ఉపయోగించాలి, తద్వారా వేఫర్ యొక్క సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలంపై సిలికాన్ పౌడర్ అవశేషాలను సమర్థవంతంగా నియంత్రించవచ్చు. అదే సమయంలో, ప్రీ-వాషింగ్‌లో నీటి ఉష్ణోగ్రత, ప్రవాహం మరియు సమయాన్ని మెరుగుపరచడం ద్వారా సిలికాన్ పౌడర్‌ను సకాలంలో కడిగివేయడాన్ని నిర్ధారించవచ్చు.

(6) సిలికాన్ వేఫర్‌ను క్లీనింగ్ టేబుల్‌పై ఉంచిన తర్వాత, దానిని వెంటనే శుభ్రపరచాలి మరియు శుభ్రపరిచే ప్రక్రియ అంతా సిలికాన్ వేఫర్‌ను తడిగా ఉంచాలి.

(7) డీగమ్మింగ్ ప్రక్రియలో సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలం తడిగా ఉంటుంది మరియు సహజంగా ఆరదు. (8) సిలికాన్ వేఫర్ శుభ్రపరిచే ప్రక్రియలో, దాని ఉపరితలంపై పూరేకులు ఏర్పడకుండా నిరోధించడానికి గాలికి గురయ్యే సమయాన్ని వీలైనంత వరకు తగ్గించవచ్చు.

(9) శుభ్రపరిచే సిబ్బంది శుభ్రపరిచే ప్రక్రియ అంతటా సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలాన్ని నేరుగా తాకకూడదు మరియు వేలిముద్రలు పడకుండా ఉండేందుకు రబ్బరు చేతి తొడుగులు తప్పనిసరిగా ధరించాలి.

(10) రిఫరెన్స్ [2]లో, బ్యాటరీ చివర 1:26 ఘనపరిమాణ నిష్పత్తి (3%NaOH ద్రావణం) ప్రకారం హైడ్రోజన్ పెరాక్సైడ్ H2O2 + క్షారం NaOH శుభ్రపరిచే ప్రక్రియను ఉపయోగిస్తారు, ఇది సమస్య సంభవించడాన్ని సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది. దీని సూత్రం సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క SC1 క్లీనింగ్ సొల్యూషన్ (సాధారణంగా లిక్విడ్ 1 అని పిలుస్తారు) మాదిరిగానే ఉంటుంది. దీని ప్రధాన యంత్రాంగం: సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలంపై ఆక్సీకరణ పొర H2O2 యొక్క ఆక్సీకరణ ద్వారా ఏర్పడుతుంది, ఇది NaOH ద్వారా క్షయం చెందుతుంది, మరియు ఆక్సీకరణ మరియు క్షయం పదేపదే జరుగుతాయి. అందువల్ల, సిలికాన్ పౌడర్, రెసిన్, లోహం మొదలైన వాటికి అంటుకున్న కణాలు కూడా క్షయ పొరతో పాటు శుభ్రపరిచే ద్రవంలోకి పడిపోతాయి; H2O2 యొక్క ఆక్సీకరణ కారణంగా, వేఫర్ ఉపరితలంపై ఉన్న సేంద్రీయ పదార్థం CO2, H2O గా విచ్ఛిన్నమై తొలగించబడుతుంది. ఈ శుభ్రపరిచే ప్రక్రియను సిలికాన్ వేఫర్ తయారీదారులు డైమండ్ వైర్ కటింగ్ మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ వేఫర్‌ను శుభ్రపరచడానికి ఉపయోగిస్తున్నారు, దేశీయంగా మరియు తైవాన్‌లోని సిలికాన్ వేఫర్ మరియు ఇతర బ్యాటరీ తయారీదారులు బ్యాచ్‌లలో వెల్వెట్ వైట్ సమస్య ఫిర్యాదులను పరిష్కరించడానికి దీనిని ఉపయోగిస్తున్నారు. బ్యాటరీ తయారీదారులు కూడా ఇలాంటి వెల్వెట్ ప్రీ-క్లీనింగ్ ప్రక్రియను ఉపయోగించి, వెల్వెట్ తెల్లబడటాన్ని సమర్థవంతంగా నియంత్రిస్తున్నారు. బ్యాటరీ చివరన ఏర్పడే తెల్లటి వెంట్రుకల సమస్యను సమర్థవంతంగా పరిష్కరించడానికి, సిలికాన్ వేఫర్ అవశేషాలను తొలగించేందుకు ఈ శుభ్రపరిచే ప్రక్రియను సిలికాన్ వేఫర్ క్లీనింగ్ ప్రక్రియలో కలుపుతారని గమనించవచ్చు.

ముగింపు

ప్రస్తుతం, సింగిల్ క్రిస్టల్ కటింగ్ రంగంలో డైమండ్ వైర్ కటింగ్ ప్రధాన ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీగా మారింది, కానీ ఈ ప్రక్రియలో సిలికాన్ వేఫర్‌ను వెల్వెట్ లాగా తెల్లగా చేసే సమస్య సిలికాన్ వేఫర్ మరియు బ్యాటరీ తయారీదారులను ఇబ్బంది పెడుతోంది. దీనివల్ల బ్యాటరీ తయారీదారులు డైమండ్ వైర్ కటింగ్ సిలికాన్ వేఫర్‌ను ఉపయోగించడానికి కొంత ప్రతిఘటనను చూపుతున్నారు. తెల్లటి మచ్చల తులనాత్మక విశ్లేషణ ద్వారా, ఇది ప్రధానంగా సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితలంపై ఉండే అవశేషాల వల్ల ఏర్పడుతుందని తెలిసింది. సెల్‌లోని సిలికాన్ వేఫర్ సమస్యను మరింత సమర్థవంతంగా నివారించడానికి, ఈ పత్రం సిలికాన్ వేఫర్ ఉపరితల కాలుష్యానికి గల సంభావ్య మూలాలను, అలాగే ఉత్పత్తిలో మెరుగుదల సూచనలు మరియు చర్యలను విశ్లేషిస్తుంది. తెల్లటి మచ్చల సంఖ్య, ప్రాంతం మరియు ఆకారాన్ని బట్టి, కారణాలను విశ్లేషించి మెరుగుపరచవచ్చు. ముఖ్యంగా హైడ్రోజన్ పెరాక్సైడ్ + ఆల్కలీ క్లీనింగ్ ప్రక్రియను ఉపయోగించమని సిఫార్సు చేయబడింది. విజయవంతమైన అనుభవం ప్రకారం, ఇది డైమండ్ వైర్ కటింగ్ సిలికాన్ వేఫర్‌ను వెల్వెట్ లాగా తెల్లగా చేసే సమస్యను సమర్థవంతంగా నివారించగలదని నిరూపించబడింది. ఇది సాధారణ పరిశ్రమ నిపుణులు మరియు తయారీదారుల సూచన కోసం ఉద్దేశించబడింది.